Utilisation de l'instrument:
Le microscope à grande plate - forme à puce de silicium de qualité de recherche zxgp - 800 est principalement utilisé pour l'observation de tranches de silicium semi - conductrices. Il peut produire des images de haute définition, un sens stéréoscopique plus fort, une image plus claire et large, à son tour avec une longue distance de travail et une grande plage de champ de vision et un grossissement correspondant, équipé d'une caméra numérique à pixels élevés, peut voir très clairement la distribution de la topographie microscopique de La "pyramide" de la tranche de silicium, et le Service d'analyse des défauts de la tranche de silicium. Est un microscope universel spécialisé pour les tranches de silicium de cellules solaires, qui a une large application dans l'industrie des semi - conducteurs.
Le microscope de détection de silice à grande plate - forme peut observer des dislocations, des rayures, des bords d'avalanche, etc., difficiles à observer à l'œil nu pour les silices de cellules solaires; Il est également possible d'analyser les impuretés, la composition résiduelle des tranches de silicium. Les impuretés comprennent des particules, des impuretés organiques, des impuretés inorganiques, des ions métalliques, de la poussière de poudre de silicium, etc., ce qui rend la Feuille de silicium après le broyage sujette à des phénomènes tels que la floraison, le bleuissement, le noircissement, etc., ce qui rend le broyage non conforme, c'est l'instrument commun de l'entreprise de production de silicium de cellules solaires pour le contrôle de qualité.
II. Introduction au système
Le système de microscope à puce de silicium à grande plate - forme est une combinaison organique d'instruments optiques traditionnels et d'un ordinateur (appareil photo numérique) via un convertisseur optoélectronique, capable d'observer des images en direct sur l'écran d'affichage de l'ordinateur (appareil photo numérique) et d'éditer, de sauvegarder et d'imprimer Les images requises.
Iii. Paramètres techniques,
1. Oculaires
Type |
Grossissement |
Champ de vision (mm) |
Oculaire grand champ de vision |
10X |
Φ22 |
2. Objectif
Type |
Grossissement |
Ouverture numérique (Na) |
Distance de travail (mm) |
Objectif achromatique à champ plat infini (objectif à champ clair / sombre) |
4X |
0.1 |
17.80 |
10X |
0.25 |
10.00 |
|
20X |
0.40 |
5.10 |
|
40X |
0.60 |
2.90 |
3. Grossissement optique: 40x - 400x (lentille optionnelle peut être jusqu'à 1000x)
4. Tête à trois yeux: 30˚Inclinaison, photographie tout en lumière
5. Convertisseur: positionnement à l'intérieur des billes à quatre trous
6. Table de chargement: trois couches de type mobile mécanique taille:300 mm×268 mm,Gamme de mouvement250 mm×200 mm
7. Mécanisme de mise au point: mise au point coaxiale grossière à micro - Mouvement avec dispositif de verrouillage et de limitation, valeur de micro - réglage: 0,7 μm
8. Système d'éclairage de chute: lampe halogène 6V 20W, luminosité réglable avec la position du canon,
Barre optique de champ de vision intégrée, barre optique d'ouverture, déviateur Push - pull et déviateur,
9. Filtre: jaune, bleu, vert, dispositif de conversion de filtre en verre dépoli
10. Système anti - moisissure caractéristique
Iv. Composition du système
Modèle zxgp - 800: 1. Microscope à puce de silicium 2. Adaptateur 3. Caméra (CCD) 4. Carte d'acquisition d'image 5. Logiciel
V. Options d'achat
1. Oculaire: 10x (Plan divisé) 2. Objectif: 50x 60x 100X (SEC)
3. Système d'imagerie 4. Logiciel professionnel
5. Ordinateur de soutien
1. Oculaires
Type |
Grossissement |
Champ de vision (mm) |
Oculaire grand champ de vision |
10X |
Φ22 |
2. Objectif
Type |
Grossissement |
Ouverture numérique (Na) |
Distance de travail (mm) |
Objectif achromatique à champ plat infini (objectif à champ clair / sombre) |
5X |
0.12 |
8.05 |
10X |
0.25 |
7.86 |
|
20X |
0.40 |
7.23 |
|
50X |
0.70 |
1.75 |
|
80X |
0.80 |
0.80 |
3. Grossissement optique: 50x - 800x
4. Tête à trois yeux: inclinaison de 30 ˚ pour la photographie à 100% sous la lumière
5. Convertisseur: positionnement à l'intérieur des billes à cinq trous
6. Table de chargement: trois couches de type mobile mécanique taille: 280mmx270mm, gamme de mouvement: 204mmx204mm
7. Mécanisme de mise au point: mise au point coaxiale grossière à micro - Mouvement avec dispositif de verrouillage et de limitation, valeur de micro - réglage: 0,7 μm
8. Système d'éclairage de chute: lampe halogène 15V 50W, luminosité réglable avec la position du canon,
Barre optique de champ de vision intégrée, barre optique d'ouverture, déviateur Push - pull et déviateur,
9. Filtre: jaune, bleu, vert, dispositif de conversion de filtre en verre dépoli
10. Système anti - moisissure caractéristique
Iv. Composition du système
Modèle zxgp - 800: 1. Microscope à puce de silicium 2. Adaptateur 3. Caméra (CCD) 4. Carte d'acquisition d'image 5. Logiciel
V. Options d'achat
1. Oculaire: 10x (ligne divisée)
2. Objectif: 40x 60x 100X (SEC)
