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Dispositif de piégeage de gaz de plaquette de silicium
Dispositif de piégeage de gaz de plaquette de silicium
Détails du produit
Présentation du produit
・pour piéger les composants volatils (polluants organiques) sur les surfaces de plaquettes de silicium de 8 et 6 pouces. (SW-8400)
・utilisé pour piéger les composants volatils (polluants organiques) sur la surface des plaquettes de silicium de 12 pouces. (SW-12400)
・capte les gaz volatils de la plaque de silicium simple face, facile à utiliser.
・le four de chauffage utilise la méthode du porte - à - faux inversé, seul le gaz produit par la face avant de la plaque est prélevé par piégeage.
・utilisé pour piéger les composants volatils (polluants organiques) sur la surface des plaquettes de silicium de 12 pouces. (SW-12400)
・capte les gaz volatils de la plaque de silicium simple face, facile à utiliser.
・le four de chauffage utilise la méthode du porte - à - faux inversé, seul le gaz produit par la face avant de la plaque est prélevé par piégeage.
・le four de chauffage peut être chauffé jusqu'à 500 ° c.
・le joint du four de chauffage est scellé par o - Ring (matériau polyimide) sans fuite.
・généralement, le Pat (contenu de 10 ml, rempli de 2,5 g de tenax gr) est utilisé pour piéger le gaz. Il est également possible de choisir les tubes d'échantillonnage de capture correspondants d'autres fabricants pour l'échantillonnage.
・le joint du four de chauffage est scellé par o - Ring (matériau polyimide) sans fuite.
・généralement, le Pat (contenu de 10 ml, rempli de 2,5 g de tenax gr) est utilisé pour piéger le gaz. Il est également possible de choisir les tubes d'échantillonnage de capture correspondants d'autres fabricants pour l'échantillonnage.
・equipé d'un dispositif de circulation d'eau de refroidissement.
・equipé d'un dispositif anti - surchauffe, d'un dispositif de sécurité de verrouillage, d'un bouton d'arrêt d'urgence, d'un capteur de fuite d'eau (en option) et d'autres dispositifs de sécurité.
・equipé d'un dispositif anti - surchauffe, d'un dispositif de sécurité de verrouillage, d'un bouton d'arrêt d'urgence, d'un capteur de fuite d'eau (en option) et d'autres dispositifs de sécurité.
Paramètres techniques
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La manière
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Méthode de suspension inversée
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Taille de la tranche de silicium piège
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8 "ou 6", 5 "ci - dessous nécessite l'ajout d'un anneau d'extension (modèle 12400, 12")
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O - ring
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Diamètre du Joint 220mm (polyimide)
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Four de chauffage au quartz
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Matériau quartz transparent
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Chauffage four mode de chauffage
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Plaque supérieure ・ plaque inférieure méthode de chauffage indépendante
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Température d'utilisation du four de chauffage
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Couramment utilisé 400 ℃ (jusqu'à 500 ℃)
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Chauffage refroidissement du four
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Dispositif de circulation d'eau de refroidissement
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Tube d'isolation thermique
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Traitement de revêtement inerte de la surface intérieure
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Purge de gaz
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Généralement avec de l'azote, débit d'utilisation maximal de 500 ml / min
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Dispositif anti - surchauffe
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Courant 15A, courant induit 30MA
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Bouton d'arrêt urgent
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Rouge, type champignon
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Dispositifs de sécurité
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Structure interlock
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Mode de pressurisation
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Entraînement moteur
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Dimensions de l'équipement
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1140 (w) × 1106 (h) × 750 (d) mm
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Poids
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280Kg
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Puissance
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Ac200v monophasé, 15a ・ ac100v, 20A
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Accessoires standard:
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Pat (tube d'adsorption primaire):
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2 (ne correspond pas à d'autres tubes de capture d'entreprise)
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Pat Rack
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1 (non compatible avec d'autres tubes de capture d'entreprise)
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Adaptateur Pat
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1 (utilisé avec d'autres tubes de capture d'entreprise)
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O - ring
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2 de
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Dispositif de circulation d'eau de refroidissement
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1 unité (avec tube de distribution standard)
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Tube d'isolation thermique
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1 branche
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Tubes de distribution de gaz
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1 set (1 / 16 "- 1 / 8")
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Câble
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1 ensemble
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Outils
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1 ensemble
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Instructions de fonctionnement
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1 livre
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* Veuillez vous renseigner sur les spécifications techniques du modèle SW - 12400.
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