Otl - PECVD - 1200 - 1400 - 1200 système PECVD à trois zones de température, composé de trois fours tubulaires à vide à tige coulissante, chambre à vide à quartz, alimentation RF, système d'alimentation en air GX, système d'extraction d'air, système de mesure du vide, mécanisme de traction électrique.

Caractéristiques principales:

1, changer le gaz dans la chambre à vide de quartz à l'état ionique par l'alimentation RF.

2, la température requise pour le dépôt chimique en phase vapeur de PECVD est plus basse que le CVD normal

3, la taille de contrainte du film déposé peut être contrôlée par la fréquence de l'alimentation RF

4, PECVD que CVD ordinaire pour le taux de dépôt chimique en phase vapeur élevé, bonne uniformité, cohérence et stabilité.

5, largement utilisé dans: la croissance de divers films minces, tels que: SiOx, SiNx, sioxny et silicium sans conformation (A - si: h), etc.

Ce système PECVD à trois zones de température est un système PECVD capable de chauffer et de refroidir rapidement, il s'agit d'installer une paire de glissières électriques dans trois fours tubulaires, un système de glissière électrique est disponible. Vitesse de chauffage et de refroidissement jusqu'à 100°C / min. Pour obtenir le chauffage le plus rapide, vous pouvez Préchauffer le poêle à une température définie, puis déplacer le poêle au niveau de l'échantillonPlacer. Pour obtenir le refroidissement le plus rapide, le four peut être déplacé à l'autre extrémité après que l'échantillon ait été chauffé. Les vitesses de chauffage et de refroidissement peuvent être atteintes sous vide ou sous gaz inerte10 ° C / s, c'est un système PECVD à double zone de température avec chauffage rapide et refroidissement à faible coût.

Ce système PECVD à trois zones de température utilise le fil résistif suédois kanthal et la tige de carbone en silicium comme élément chauffant, adopte une structure à double enveloppe et un compteur de température contrôlé par programme à 30 segments, un déclencheur de phase, un contrôle de silicium contrôlable, la culasse adopte un matériau en fibre polycristalline d'alumine importé du Japon, le tube du four est scellé par une bride en acier inoxydable aux deux extrémités, la bride en acier inoxydable est équipée d'une buse d'air, d'une vanneEt le manomètre, le degré de vide peut atteindre 10 - 3 Pa lors de l'aspiration, divisé en deux zones de température, les deux zones de température peuvent être contrôlées indépendamment, définir différentes températures, facile à utiliser et facile à utiliser, ce four a les avantages de l'égalisation du champ de température, de la température de surface basse, du taux de température de montée et de descente rapide, de l'économie d'énergie, etc., c'est l'Université, l'Institut de recherche scientifique, l'industrie et l'exploitation minière qui font la combustion atmosphérique à haute température Produit idéal pour noeuds, croissance de graphène, croissance de divers films.

(1), l'épaisseur d'extrémité chaude de la tige de carbone de silicium est de 14mm, 12mm adopté par les fabricants généraux, l'extrémité chauffée est grossière, pas facile à plier, la charge de surface de la tige est faible, longue durée de vie.

（2), m la longueur de l'extrémité froide est 210mm, les fabricants généraux adoptent 180mm, la température du Haut de la cuisinière longue à l'extrémité froide est basse.

(3), le film amorphe oxydé de surface de la tige de carbone de silicium est dense, ce qui permet de mieux protéger la tige de carbone.

Une réunion vide se déconnecte automatiquement lorsque le circuit est en surintensité ou en fuite

Ce four tubulaire à atmosphèrePeutÉquipé d'une interface de communication et d'un logiciel, il peut contrôler les différents paramètres du four directement via l'ordinateur et peut observer les valeurs de température PV et SV sur le four et le fonctionnement de l'instrument à partir de l'ordinateur, la courbe de réchauffement réelle du four sera tracée en temps réel par l'ordinateur et peut sauvegarder les données de température à chaque instant, prêt à être affiché

(1), haute qualité, haute pureté oxyde d'aluminium polycristallin fibre Solidification four formé par aspiration et filtration sous vide.
(2), moulé avec la technologie japonaise.
(3), le matériau du four a une faible capacité thermique et un faible coefficient de conduction thermique, de sorte que moins de dissipation de chaleur, une bonne isolation thermique et une réflectivité élevée. Équilibrage du champ thermique.
(4), fil d'alumine de four mince et long, haute résistance à la température, forte capacité d'augmentation de la chaleur et de refroidissement
(5), la surface du four est propre et pas facile à faire tomber la poudre.

(tous les appareils importés avec certification UL)