Catalyse à basse température - système de purification de type dénitrification à haute température

Ce système de purification utilise un catalyseur breveté fait maison, qui a une longue durée de vie, une profondeur de purification élevée et une forte capacité de fluctuation instantanée du gaz de matière antigénique; En utilisant le processus d'adsorption physique et de réaction chimique, un grand nombre d'impuretés H2O, O2, Co, CO2 dans le gaz inerte et l'hydrogène (H2) sont d'abord éliminées à température ambiante, puis les impuretés résiduelles et N2 sont éliminées à travers la colonne d'aspiration à haute température, de sorte que les impuretés de gaz pur de sortie sont éliminées en dessous de 1 ppb. Cet appareil a une longue durée de vie et un fonctionnement simple.

Performance du produit

◎ convient pour une utilisation avec du gaz brut d'une pureté d'au moins 99999%.

◎ ce produit est une structure double, l'un fonctionne, l'autre régénère la réserve

◎ profondeur de purification élevée, teneur en diverses impuretés exportées < 1ppb

◎ acier inoxydable 316 (l) poli électrochimiquement

◎ construit dans le filtre haute efficacité de 0003 micron

◎ ce Purificateur est configuré avec une tour de pré - purification pour éliminer une grande quantité d'impuretés avant la tour de vaporisateur de consommation précieuse, ce qui prolonge la durée de vie du vaporisateur de consommation précieuse

Application du produit

◎ haute pureté silicium monocristallin, épitaxie de plaquettes, circuits intégrés à grande échelle, production de produits optoélectroniques et autres purification de terminaux de gaz industriels électroniques

◎ Équipement de processus de semi - conducteur: CVD, MOCVD, hvpe, four de diffusion, etc.

◎ purification de gaz en vrac

Paramètres du système